陕工网讯(全媒体记者 刘妍言)8月5日，西安高新综合保税区内，陕西电子芯业时代科技有限公司8吋线项目建设进入最后冲刺阶段，洁净室与光刻区施工基本完成，计划8月7日110KV变电站通电，9月进入流片试生产阶段。

　　这一总投资45亿元的项目将建成国内先进的8英寸高性能特色工艺半导体生产线，设计月产能5万片，产品涵盖工业级、消费级和车规级等中高端功率器件。

　　项目采用“一层生产、三层配套”的四层空间架构，集成了包括纯水、特种气体输送系统在内的12套精密管线系统。各管道和动力设备均配备了专业防微震装置，通过减震弹簧和减震基座，最大限度减少设备运行震动产生的灰尘颗粒，确保建成后各项洁净指标稳定达标。

　　记者在施工现场看到，4个洁净室管控口严格执行无尘标准，工人需穿戴鞋套并禁止携带水杯等物品。为实现厂房2.45万平方米洁净面“不产尘、不积尘”，墙面、地面使用防静电洁净壁板，建成后将采用尘埃粒子计数器进行实时监测，最高满足国内先进的十级净化车间制程要求。

　　据该项目相关工作人员介绍，仅洁净室就投入400余名工人施工，高峰期现场超千人交叉作业，自4月底施工以来已完成“百日攻坚”。

　　值得一提的是，该项目创新性地在厂房内设置了全封闭参观走廊，并配备1.2米宽、0.8米高的观察窗，可供参观光刻区生产场景。项目相关工作人员表示，这样的设计不仅是项目形象的展示窗口，更体现了陕西芯片企业的技术实力和开放自信。

　　项目建成后，光刻区和洁净室将实现高度自动化作业，工作人员主要集中在中控室，车间生产则由机器人天车完成“无人化”操作，一期项目即达到国内领先的智能化水平。

　　同时，该项目在厂房设计上已预留12英寸产线的升级空间，80%的生产设备可满足第三代半导体芯片的生产要求。

　　此外，该项目在环保方面致力于实现污染“0排放”目标，特殊气体、化学品管道均采用耐腐蚀材料，确保生产全过程不污染土地水源。

　　作为我国西北地区首条8英寸高性能特色工艺半导体生产线，该项目建成后将填补陕西8英寸晶圆制造领域的空白，推动形成具有地方特色的高端集成电路产业特色聚集区。项目将进一步完善西部地区半导体产业整体布局，加快实现关键芯片的国产化替代进程。